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生产成本的上升。
罗晟继续道：“引入极紫外光刻技术后，其所扮演的角色是最新逻辑工艺的关键光刻层，在芯片制造商被引入之前，极紫外是有光刻机、光源、光刻胶和光掩膜组成。”
众人默默的点头，之前极紫外光刻技术的临界多在光源，因为光源的功率不足会影响芯片的生产效率。
而光源问题解决之后，新的挑战即是光刻胶技术的限制了。
……
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