距,有不少小瑕疵,比如硅纯度达到了11N,但不管怎么样调试,都达不到12N,我们正在找原因,还没找到。」
星海集团目前使用的硅精练方法是提拉法。
先把熔化的Si放在石墨坩埚里面,使用感应法加热,之后又放在石英容器里,通过纯氢气体作为清洁氛围。再把作为种子的籽晶放在垂直棒的前端,再放入熔化的Si里面。
因为籽晶表面会吸附熔化物,在垂直棒不断缓慢旋转和提拉的过程中,可以长出直径比籽晶大得多的体材料晶体。
这有点像两根筷子插入盛满面条的锅里,筷子夹紧的几根面子就像是「籽晶」,吸附锅里的其它面条,随着筷子旋转,然后提升,越来越多的面条被卷入筷子中。
而且,被卷入的面条排布得比较整齐,其实提拉法还利用到了旋转重力的作用,能够均匀地分布熔化的硅,同时通过轴(筷子)的旋转,控制了硅温度和几何构性的不均匀性。
沐阳说道「先带我看看试制好的样品。」
向海点头,走到一根未切割的单晶硅棒前,长度约一米多,外径是12英寸,这一根硅棒,也有一百多公斤。
沐阳蹲下来观察,用手抚摸硅棒表面,赞道∶「外径直线度不错,直径均匀,不过,这只是一米长而已,拉完一炉一千公斤的,理论可以拉四五米长。」
沐阳检查完这根未切割的单晶硅棒,再检查另一根已经切割过的硅棒样品,已经切割了一半。
单晶硅棒是先用线切割机把两端锥形料头切割掉,如果硅棒很长就分段,否则太重不好搬动和加工,车外圆,然后再用真正的切片机切晶圆片。
用切片机切片,效率会快许多,切割平面度会更好一些,也不容易碎,如果是线切割,比较粗糙。
刚切下来的晶圆片厚度不到一毫米,还要继续打磨、研磨,直到符合设计的厚度要求。
切片厚度主要看材料韧性情况和切片机的性能,如果很容易切碎,那就切
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