就基本和GCA打平,并在1985年正式超过GCA,成为业界第一大光刻机供应商。”
“而同一年,GCA却大亏1.45亿美金,只能把全部身价压在高端机上,但是资金链断裂,1988年,走投无路的GCA年被出售给 General Signal。”
“尼康和佳能,一度占据了超过70%的市场份额。这是第二次光刻机大战。”
“但是老美是不会乐意日系企业垄断性发展的,随着《广场协议》和《美日半导体协议》的生效,日元在三年内升值百分之百,而芯片被强征100%的惩罚性关税,除此以外,老美还扶持台岛地区和南韩的公司和日本芯片厂商互相‘内卷’。”
“在大家的围攻下,日系企业在内存以及先进数字芯片制造方面节节败退,三星和台积电等趁机发展壮大,而我们华能和四叶草,也在关键时刻分到了一杯羹,拿下了数字芯片里需求量最大的存储类芯片的生产能力,为后续发展打下了坚实的基础。”
“但是光刻机毕竟需要的技术积累,尤其是光学器件、光刻显影技术、精密机械等方面的短板,无论是我们还是南韩,在八十年代到现在,还没有能够形成发展光刻机的能力。”
“但是欧洲却看到了契机。”
“脱胎于飞利浦的ASML抓住了关键需求,即电路从大规模集成电路(LSI)发展到超大规模集成电路(VLSI),晶体管尺寸将缩短到1微米以内,光刻机不再处理4英寸晶圆,而是转向6英寸。”
“而当时不管是美方还是日方的步进式光刻机,都达不到生产VLSI的标准。因为它们都是用导程螺丝杆来移动晶圆台,那么这意味着他们的图象细节,根本达不到1微米的定位精度。”
“光刻机的主要部件都有数千个, ASML先是引入当时最先进的物料管理系统,即施乐的XBMS系统。”
“这个系统与我们现在的工业流程管理系统类似,第一步解决了物料管理的问题
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