还有一个重要原因,那就是后续的投资没有跟上,IBM为这个生产线,可是豪砸了10亿美金,而我们一国的外汇储备,前年也才百亿美元,真没多余的钱做后续。”
“好在是熬过来了。”胡长风说道:“顺便还给产品升了个级,没被国际水平甩开太远。”
“对,获得八英寸晶圆生产线是关键。”周至说道:“有了这个基础,我们引进三星产品线和松下闪存技术,进行存储芯片生产才有了可能。不过在光刻机领域,日系的运气就不如欧系了。”
“从6英寸制程过渡到8英寸的过程中,从G线到I线的技术演进中,两家日本公司犯了一个错误。尼康和佳能计划跳过365nm的i线,直接从465nm的G线过渡到KrF的248nm的激光。”
“这是一个无比超前的计划,如果成功,光刻机将直接进入DUV时代。”
“不过他们低估了DUV的技术难度。两家公司的设备无法顺利通过测试,体积和耗能均非常大,而且没有对应的DUV光刻胶,最终被迫回头,重启365nm的i线设备研发。”
“而ASML却稳扎稳打,他们继续研发了基于I线光源的PAS 5500光刻机,但是将涉及架构更换成了可以改进的新机器架构。”
“这个架构的设计非常灵活,镜头和光源可以快速更换,先期匹配高分辨率i线光源,后期再匹配DUV镜头的KrF激光器,一举取得了先发优势。”
“在晶圆台研发上,PAS 5500也没有一开始就决定到底是使用H型晶圆台,还是长短冲程发动机。而是同样保留了两路适配架构,这是意义非常的方法。”
“PAS 5500这种模块化设计使得客户可以根据不同工艺随意选配不同部件包,可以涵盖了i线和KrF各种光源,4到12英寸各种晶圆尺寸,i线和KrF各种镜头,stepper和scanner各种投影模式。成了所有芯片制造商的梦中情机!”
“你
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