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第五百六十四章 打破瓦森纳协定的封锁(第7节)

供应全国半导体行业使用。前几年则是进一步研制了第三代“自动对准分步投影光刻机”,这款光刻机其实已经达到了世界先进水平,国际上的同行还曾经纷纷前来观摩学习,可惜当时没有任何的知识产权的概念,他们是知无不言言无不尽。

结果,技术都被国外同行学去了,他们生产的光刻机却没有客户使用,之后几年,他们也放弃了光刻机的研发。

徐端义是国内搞光刻机的领军人,心中是非常痛苦的,现在,终于迎来了好消息,秦总要投资搞光刻机了!

“我想知道,如果我们搞光刻机,能不能达到世界一流水平,以后我们自己就可以生产,哪怕被国外封锁都不怕?”秦涛也是单刀直入,毕竟他对这个行业不是特别熟悉。

“秦总,光刻机说起来很高大上,但是实际上,它主要由三部分组成。”徐端义介绍起来:“它需要全球顶级的光源,也就是专门的激光系统;还需要高精度的镜头,以及精密仪器制造技术。在这三个领域里,我们能解决最后一个,这是我们系的专长,但是,前两个系统就难了。”

阿斯麦在后世很牛,是世界上最强的光刻机巨头,但是,它也不过就是个总装厂,各种零件走的都是全球合作的道路,比如说镜头来自德国的蔡司,光源来自美国企业cymer。

“对啊,尤其是激光的光源,目前在全世界的光刻机生产厂的面前,都摆着193纳米激光光源的技术鸿沟,我们想要研制世界先进水平的光刻机,还得解决这个难题。”一旁的系主任开口说道。

虽然已经放弃了光刻机的研发,但是,众人还是关注这个行业的,秦总提出了这个想法之后,他们更是连夜收集了各种资料。

此时,他们必须要把各种困难都摆在眼前,告诉秦总这个行业有多难。

“你们听说过湿刻法吗?或者叫做浸润法?”秦涛提出了这条技术路线。

“秦总,这个方法并不是主流的,属于旁门左道,就算是解决了现在的193纳

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