种事情可不能拖，你们先回去休息吧，我记录完就休息。”
张本松继续埋头，虽说他的右手经过医院的诊治已经好的差不多了，但仍然不好握笔，因此影响他记录工作。
很快一个小时过去，当张本松完成对今天工作的记录，他却没有离开办公室去休息，而是走向芯片车间，撕下自己记录的那张纸贴在洁净室外面的玻璃上。
这是张本松他们的常规操作，由于要确保洁净室内的绝对干净，因此就连纸张他们也避免带进去，但同时他们又需要根据自己的运算做出调整，只好从外面贴在玻璃上，将玻璃当成提示板用了。
熟练的取出一张打磨好的硅晶圆，按照步骤清洗涂胶烘焙。
尽管这些都是从接触式光刻沿用下来的步骤，张本松都做过好几十次，但他仍然小心翼翼，确保每一步都准确无误。
很快三个小时过去，当张本松带着隔热手套从烤箱里取出烘焙好的硅晶圆时，就听洁净室的玻璃杯轻轻敲响，张本松转头就看到几张熟悉的脸孔，那是自己手底下学习最认真的工程师和技术工人。
为了避免说话飞沫污染洁净室，张本松打手势询问他们怎么这么早就来了，现在天亮了吗？
外面的工程师写字条高速张本松现在才只凌晨四点，他们是因为睡不着才想着过来车间再做一遍测试，好为白天收集更多的数据。
张本松想喊他们回去休息，可伸出洁净室，手上还拿着硅片，他没办法，只好指了指自己粘在玻璃上的纸条，反正这些人来都来了，就让他们进来帮帮忙吧。
张本松走到门口告诉他们自己认为提高投影式光刻的精度跟控制光照时间和光刻次数有关。
“虽说光刻就像照相一样瞬间就能完成，但并不意味着光刻就整体完成，他可能存在光刻不到位的问题，可如果我们提高光照时间和次数，可能又会带来新的衍射以及过度曝光等问题，我们现在就是要????????????????找到最适合的工艺因子。”
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