承载着无数精密电路图形的晶圆,经过涂胶、前烘、显影影一系列高精度工序后,终于进入了蚀刻环节。穿着无尘服的操作员眼睛都不敢眨,紧紧盯着监控屏上的数据和影像。
时间一分一秒过去。
当穿着无尘服的操作员小心翼翼地打开蚀刻腔,准备取出晶圆进行下一步操作时,他身旁,负责在线瑕疵扫描的工程师眼睛死死盯着面前的电子显微放大屏,脸色变得越来越难看。
“嘶……”
一声倒抽冷气的声音在操作员防护服内部响起。
“怎么了?”
苏定平不知何时已经站在了监控室外,隔着巨大的观察窗玻璃,敏锐地察觉到了气氛不对。
袁涛快步走了出来,脸色铁青中带着浓浓的疲惫和……愤怒!
他手里拿着一份新鲜出炉、还带着机器温度的质量检测报告,手指捏得纸张都变了形。
“苏总师……”
袁涛的声音带着一种无法抑制的颤音,一种被赤裸裸欺骗后的愤怒。
“良品率……最新的批次……只有……只有百分之十九点八!”
他几乎是咬着牙说出这个数字。
19。8!连20%都不到!
要知道,即便是业界技术相对成熟的8英寸线上生产250nm工艺芯片,良品率通常也有望达到60%-70%!
他们依靠原有的“龙脊”技术积累,加上龙心实验室突破性的工艺整合优化,最初几批小规模流片,良品率也摸到了43%的坎!大家加班加点改进,指望着冲到60%,结果呢?!
这数字竟像断了线的风筝一般,直坠深渊,跌破了20%的底线!
这对量产计划是毁灭性的打击!意味着生产成本剧增,交付时间无限期拖延!
“原因!”
苏定平的声音冰冷得像西伯利亚的冰川。
“初步判定……是……硅片基材的问题!”
袁涛
本章未完,请点击"下一页"继续阅读! 第4页 / 共7页