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走到巨大的技术路径白板前。
“所以!我提议,战略重心暂时转向!目标。
ArF光刻胶!
这是仅次于EUV的选择!西方对此有一定的技术公开和部分失效专利壁垒,但核心配方、特别是能够支持高端节点的高性能、高敏感度、低杂质、高均匀性配方的ArF胶,依旧是绝密!
我们与其强攻EUV那座无法仰望的绝壁,不如集中全龙夏的力量,给我先把ArF这座相对矮小的山头,彻底炸平!占领它!