了。没有欢呼,只有机器的轻微嗡鸣和研究员们凝重的呼吸声。
巨大的隔离窗前,苏定平双臂抱胸,眉头紧锁,浓得化不开的愁云笼罩在他年轻却已略带疲惫的脸上。
他身边站着几位满头银发或者两鬓飞霜的核心专家团队负责人——王教授、李老、赵总工,个个面色沉凝。
展现在他们面前的,不是胜利的徽章,而是两道令人窒息的技术天堑!
左边巨大的工作台上,整齐码放着一片片如同黑色镜面般幽深、边缘闪耀着锐利切割光芒的圆形晶圆。
那正是举国之力突破、代号“昆仑胎玉”的12英寸超高纯单晶硅片!
它们质地均匀,几乎看不到任何杂质点,如同最纯净的黑水晶,代表着龙夏在芯片基础材料领域硬生生凿开了西方坚壁的第一步!旁边的良率统计仪表盘上,赫然显示着一个足以震惊世界、红得耀眼的数字——92%!
右边的工作台上,几只精致的水晶瓶子静静伫立。瓶子里的液体,颜色各异,有的是淡淡的琥珀色,有的接近透明,有的则如同流淌的紫玉髓。
这就是龙夏在光刻技术领域实现惊世突破的另一根支柱——“蚀影”光刻胶!旁边是密密麻麻的实验数据图谱和一排排闪烁着微光的控制单元。实验室中央的巨大浸没式分步重复投影光刻样机正在安静地演示着。
激光透过高级数值孔径透镜投射到涂胶晶圆表面,在精密控制的水膜浸没环境下。旁边的实时显示器上,赫然生成了一条条精细的结构线条,分辨率测定结果在7nm的标尺附近稳稳跳动!
这代表龙夏的“蚀影”胶+浸没式工艺组合,硬生生将ArF光源的潜力挖尽,达到了足以媲美昂贵且被严禁出口的EUV光学系统的精度!从理论到小规模流片验证,这条路被走通了!
这任何一项成果单独放出去,都足以震动整个全球半导体产业,引发科技版图的大洗牌!
它们本该是实验室里疯狂庆祝的资本。
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