真空腔体内部粗陋得像个铁皮罐头。刺眼的固体激光光束亮起,在工程师近乎徒劳的精细调试下,狠狠轰击向那些不规则甩动的锡微滴!
“轰击!10%,能量持续输入!”
操作员吼着。
真空腔侧壁上安装的特制、尚未完全屏蔽各种杂波的EUV探测器屏幕上,有极其微弱、杂波海洋中几乎无法分辨的信号跳了一下!瞬间湮灭!
“有反应!是极紫外波段!”
有人勉强捕捉到了那一瞬的波动!
然而,仅仅十分钟。
“警报!腔体温度急剧升高!”
“锡渣堆积堵塞喷口!”
“镜面反射涂层出现局部烧蚀!”
“系统过热保护!强制停止!”
烟气和焦糊味在实验室弥漫开。又是一片失败!成本同样惊人!
那束代表13。5nm的传说之光,如同最吝啬的鬼火,在龙芯的指尖仅仅闪了那么不足道的一瞬,便彻底熄灭,只剩下昂贵的报废零件!
“完了…没戏了…”连之前支持苏定平的年轻工程师都面如土色。
“这完全就是烧钱听个响…看不到头啊…”
“雄鹰部落的ASML…那台叫NXE的EUV光刻机,用的是几万瓦的CO2激光器阵列…每秒冲击锡滴五万次…”袁涛查着外流的零星资料,声音都在发飘。
“咱这台…给人家热身都不够格…”绝望的气息如同海啸,几乎要将苏定平淹没。
就在这时!
嗡——!
苏定平脑海中那片神秘空间剧烈震荡!
一张清晰度前所未有、每一个线条都被金色光芒勾勒的精密图纸轰然铺满他的精神视野!
【图鉴解锁。[兆瓦级射频激发同轴波导CO2激光器–完整设计篇]】
详尽到每一个零件的材质要求、每一处能量循环路径的优化算法、每一个射频放大模块的耦合参数…如同宇
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