中带着向好的生命力。
“成了!”
一次实验结束后,监控员猛地跳了起来。
“二十五分钟!
这次稳定输出了二十五分钟!”
小团队的区域内响起了压低的欢呼。
虽然时间还不够,虽然问题依然重重,但这证明了人工智能辅助优化这条路的正确性,点燃了新的希望。
袁涛狠狠锤了一下手掌,转向郭雪云。
“老郭!光来了!虽然只亮了二十五分钟!”
郭雪云紧紧攥着拳头,指节发白。
“方向没错!稳住,继续让盘古优化!数据!喂给它全维度的数据!”
锡微滴难题,似乎看到了一丝曙光,但那也只是光源系统这座大冰山显露出的一角。
新的风暴接踵而至,而且同样棘手。
“反射镜的镀膜检测结果出来了……”
负责镜片测试的陈工拿着报告单走进苏定平的临时办公室,声音干涩。
“……精度……远远达不到要求。”
苏定平的心猛地一沉。
作为将脆弱易散的极紫外光多次反射聚焦的关键核心部件,整个光刻机系统需要数十面这样的超高精度反射镜。
每一面,都需要在基础基材上镀上多达十四层的特殊光学薄膜!层数多只是一方面,关键是每一层薄膜的厚度误差必须小于0.1纳米!
这是一个让普通显微镜都失去意义,让大部分机械加工望尘莫及的精度。
“我们自己尝试的几批次,误差都在几十个纳米甚至百纳米级别,最好的也超过了设计要求十倍以上。”
陈工的声音充满无力感。
“这种精度……已经接近材料的物理极限和控制的极限了。
苏总工,我们现有的设备和工艺积淀,短期……几乎不可能!”
苏定平看着报告上刺眼的检测数据,沉默了十几秒。
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