企业,其核心就是海湾微电子。
五月份中旬,徐申学再一次来到了海湾科技电子有限公司进行视察,看了他们最新型号的KRF光刻机。
其实年初的时候,海湾科技就把这东西做出来了,毕竟这东西也不算什么技术创新,国内已经有了可用的产业链,而且也有了KRF光刻机,只不过国内其他厂商搞出来的KRF光刻机因为技术,效率等问题卖不出去而已。
海湾科技当时做出来的KRF光刻机也不算成熟,毛病有点多,又进行了为期几个月的改进,这才算是成熟可以商用了。
得知这个消息后,一直都非常关注光刻机领域进展的徐申学就跑过来看了,而且还是带着智云微电子那边的人一起过来看。
因为东西做出来了,成熟可商用了自然就要用啊……卖出去不指望,反正其他芯片工厂大概率是不要的……人家有更好的国外进口货可以选,犯不着用海湾科技这边的
当然,这光刻机就是一个大柜子,徐申学也看不出什么门道来,只能是看个热闹。
海湾科技的负责人王道林也知道徐申学不懂这玩意,所以解说的时候就说的有些简单直白:“我们的这这种光刻机,在国际技术路线上,应该算是第三代,不同于我们之前的上一代I-line光刻机采用的是接触接近式曝光,我们这个KRF光刻机的曝光方式是扫描投影式曝光,也被称之为扫描式光刻机。”
“而扫描曝光,也是更先进的DUV干式乃至DUV浸润式光刻机采用的曝光方式,技术原理是一样的!”
“通过研发这款KRF光刻机,某种意义上我们已经算是掌控了DUV光刻机的部分技术!”
“光源上,我们采用的是深紫外线光源,分辨率达到了248纳米,可以用于最小制程130纳米的芯片生产!”
“研发这款光刻机,进一步锻炼了我们团队的技术研发能力,同时也为DUV干式光刻机的研发打下了坚厚的基础!”
“后续
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