的。
曹星辰继续说着:“甚至在这项技术上继续耕耘下去,未来是能够搞出来精度更高,可用于EUV光刻机所需要的镜片的!”
一代代光科技的技术升级,除了光源系统不断升级进步外,还需要其他诸多子系统的配合,而物镜就是这一系列子系统里最为关键的部分。
以上这两点是影响光刻精度最核心的子系统。
当然,其他方面,比如机台对准等也不能差就是了。
徐申学听着这些话,然后翻看着手中的技术手册,为了照顾徐申学这个不懂技术的人,这份技术手册用简单易懂的方式介绍了眼前的这台DUV干式光刻机的基本情况以及各子系统的情况。
也就是之前徐申学常年给自己挂着一个B级科研名额的外挂,然后闲着没啥事的时候也会经常学习,翻看一些技术,尤其是半导体领域的技术资料。
所以多少也能够看出来这技术资料上描述的各种技术参数,其背后意味着什么!
就和王道林说的一样:这是一个举国之力才能够搞出来的顶级设备!
而且准确的说,光刻机这东西到了现在,真正能够靠着一国之力做出来的,只有华夏了,其他国家因为全球化分工的缘故,哪怕是美国也无法单独做出来光刻机了。
还是物镜为例子,主导的是南江科技,但是材料的研发实际上是和数十个研究所一起合作研发的。
没有这么多材料研究所,高校配合你一起玩这东西,光靠南江科技自己那点材料研发人员,再过十年也搞不出来!
镜片加工也是,虽然加工是南江科技加工的,但是很多设备其实都是众多科研所专门定制研发的。
其中的核心设备离子束抛光设备,不少核心零部件是几家国内顶级的科研机构,一群大佬们带着众多科研牛马在实验室里做出来的。
哪怕整个研发过程里,南江科技都是给了钱的,但是很多事情,就不是说给钱了就能找到人和机构给你研发的
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