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第三百零九章 28纳米自主可控(第11节)

型光刻机已经成熟,尤其是套刻精度上大有进步。

对于光刻机而言,最关键的参数有两个,一个是光源波长,比如DUV干式光刻机,则是193纳米的波长,而DUV浸润式光刻机,同样的光源下经过水的折射,可以把光源波长缩小到134纳米。

然后另外一个关键参数就是套刻精度,套刻精度有很多个说法,一般在量产工艺里使用的是MMO,也就是不同设备之间的套刻精度。

这个数据直接关系到大规模量产情况下的最小制程,良率等一系列关系性能,通常来说,只有满足五点五纳米的套刻精度,才能够实现28纳米工艺的大规模量产。

不然的话,勉强使用良率会非常低,成本高昂,不具备商业使用价值。

至于更进一步的18纳米以及十四纳米,甚至十纳米工艺这些,这就需要使用双重曝光技术,这对套刻精度要求更高,要求能够达到三点五纳米的套刻精度……

这也是为什么说十八纳米工艺节点有些尴尬的原因,因为用来生产十八纳米的光刻机,它也能用来生产十四纳米。

同样的设备,我为啥不生产十四纳米工艺的芯片?

但是再往下的七纳米,这就需要使用四重曝光,这对套刻精度提出了更进一步的要求,常规来说需要达到二点五纳米的套刻精度,如此才能够让良率稳定在一定的水准。

如果套刻精度不足的光刻机,强行采用四重曝光生产七纳米芯片,良率会非常低,成本非常高昂,除非特殊情况,不然没人这么干的。

而海湾科技目前的目标,就是进一步缩小套刻精度,争取做到二点五纳米的水准,然后满足七纳米的生产需求。

不过这也挺难的,这可是实打实的物理极限的提升,每一纳米的套刻精度提升都是无比艰难的。

当然,二点五纳米套刻精度的光刻机,现在海湾科技还搞不出来,甚至三点五纳米套刻精度的光刻机,现在也磕磕绊绊,还得继续琢磨,估计下半年才

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