。”
王工摩挲下巴：“如果真能这样，我们的良品率还能提高一大截。”
陈磊接着说道：“是的。
然后是神经系统，它的全流程缺陷检测与测量单元。
NIL的致命弱点是缺陷率，所以佳能肯定在机器内部署了全世界最顶级的实时检测系统，用来在压印前后快速扫描晶圆，定位纳米级的颗粒和图形错误。这套技术是通用的。
王总，我们的产线现在主要依赖离线抽检，效率低，而且很多缺陷发现时已经晚了。
如果我们能把这套神经系统移植或复制过来，集成到现有工艺流程里，我们的良率又能爬上一个大台阶。
无论是国产生产线，还是说用ASML的那些生产线，都能用到这个系统。”
“最后一个，循环系统呢？”另一位李工问道。
陈磊说：“这就是我认为最有价值，也最意想不到的部分：喷墨式精准涂胶系统。”
他指着NIL设备中那个类似打印喷头的装置：“传统的DUV光刻，是用旋转甩胶的方式给晶圆涂上光刻胶，超过95%的昂贵光刻胶都被浪费了。
而NIL为了精准压印，开发了类似喷墨打印的技术，需要哪里有图形，就在哪里喷涂一滴树脂，用量极省，而且均匀性可控。”
他看向李工慢慢说道：“李工，想象一下，如果我们能把这套喷墨技术嫁接到我们的DUV产线上，用来喷涂我们自己的光刻胶。
这意味着什么？光刻胶成本能骤降90%以上，边缘效应和甩胶不均的问题将成为历史。”
华国人就是这样，在没有路的时候也要找到路，陷阱也要给你找出价值来。
只是陈磊想不到的是，林燃压根想的不是拆解，而是在此基础上来重构整个光学系统。
华盛顿特区，哈特参议院办公大楼，听证会室内，室内的空气因愤怒和焦虑而显得格外沉闷。
商业、科学和交通委员会的所有
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