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第266章 华清大学的光刻机(第2节)

大学毕业,之后就留校任教,再然后,在那个特殊的年代里,被下放到了鄱阳湖,在那边的农场里种水稻。

1971年的某一天,他被农场负责人半夜敲门,还以为自己要完了,没想到,是首都发来急电,让他回首都,有重要任务。

徐教授扔下了稻秧,来到了首都,才知道国家要研制半导体生产的关键设备:光刻机。

当时的他,还只是助教,就去参加这种重点项目,从此,就开始了造光刻机的历史,他永远都没有忘记,当时接受任务时候的激动心情,我们祖国的半导体产业,就寄托在我们身上!

华清大学调动了五个系,数百人的研发团队,开始了辛苦的攻关,从光刻机需要的氦-氖气体激光器的研制做起,到精密导轨、丝杠、滚珠、步进电机、控制计算机、光学系统、大孔径的投影物镜等,所有的设备,都是自己设计自己制造。

就这样,东方第一台投影光刻机终于诞生!

光刻机刚刚诞生的时候,都是接触式光刻机,掩膜直接覆盖到硅片上,直至七十年代,美国Perkin-Elmer公司研制成功1:1投影式光刻机。

把光刻胶涂在硅片上,然后用光源照射,从而把该去掉的光刻胶通过光源给刻蚀掉。

最早用的是汞灯当光源,扫描台拖着硅片,和掩膜一起同步运动,光源通过狭缝变成均匀光,把图案投影到光刻胶上。

仅仅这个装置,就把芯片的良品率从百分之十提升到了百分之七十。

不过,由于要移动,所以个头比较大,结构很复杂,于是,后来美国的GCA公司,又开始搞起来了分步重复精缩投影光刻机,掩膜和硅片不需要同步移动,同时物镜还能缩小倍率,这样掩膜版的制作难度大大降低。

这个东西诞生之后,光刻机的具体技术路线,就固定下来了,之后不断提升光源,改进技术,但是基本结构是不变的,除非是后世那种3纳米芯片需要的EUV光刻机,其余的,都是这个结果。

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