只无形的大手硬生生掰直了。
“回来了！”
光路监测员猛地扑到屏幕前，声音都破了。
“主光束重回中轴线！”
“二号镜、三号镜反射面全部归正！”
“焦点开始锁定！”
程美丽站在主控台前，十指压上工业键盘。
哒哒哒！
她没有停。
U盘算法在跑。
她自己的手也在跑。
一串又一串的微调指令，被她直接灌进镜组平台底层。
“一号镜，左偏补偿0.003。”
“三号镜，抬高。”
“五号镜，锁死。”
“看掩膜版。”
她声音不大。
却像一把冰冷的锤子，砸进每个人耳朵里。
操作员猛地回神，扑向副屏。
画面切换。
那道被强行归正的极紫外光束，穿透复杂到令人窒息的镜头群，最终精准轰击在掩膜版之上。
嗤！
一声极轻的灼响。
光，咬住了。
“聚焦成功！”
“主焦点锁定成功！”
会场里先是一静。
紧接着。
轰！
整个主控区像炸了一样。
“成了！”
“真的聚住了！”
“曝光！快上曝光程序！”
程美丽一掌拍下执行键。
啪！
晶圆工件台开始高速平移。
涂满极紫外光刻胶的八英寸晶圆，在真空吸附台上稳稳前送。
那束杀穿所有封锁的极紫外光，透过掩膜版，在晶圆表面留下一道又一道肉眼不可见的微观刻痕。
全场没人再说话。
只剩设备运转的低沉轰鸣。
还有众人压得发疼的呼吸。
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