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第331章 流片成功!(第2节)

团队半年的活!】

【张工那双膝盖上的白印到底磨掉了几层皮啊】

【不说了,眼睛进沙子了】

......

从中关村的地下室,到津门二厂的轰鸣。

短短几天,犹如跨越了一个时代。

七月一号。

津门无线电二厂。

硅基产线全速开动。

这是GK-3光刻机浴火重生后的第一次实弹操演。

陈默亲自操机,手指搭在对焦旋钮上,眼睛贴着目镜。

光栅尺的数字跳动,伺服电机精准补偿每一个微米的误差。

曝光。

显影。

硅片上的线条清晰锐利,边缘笔直。

刻蚀环节,BOE槽液控温稳定在三十五度。

第一批硅片过检,沟槽完美。

陈默回头冲林希竖了个大拇指。

直到离子注入。

长安771所支援的国产离子注入机是十年前的老型号。

苏佩兰和王铁山两个老师傅在机器旁边守了一天一夜,反复调整参数。

打出来的硅片,送到显微镜下一看。

掺杂深度分布不均匀。

有的区域深了,有的区域浅了。

像一块没发好的面,有些地方鼓着,有些地方瘪着。

直接后果:芯片漏电。

测试探针扎下去,电流一路跑偏,根本锁不住。

苏佩兰试了七组参数,全部失败。

“机器太老了。”

她摘下防尘面罩,额头上全是汗。

“束流不稳,真空也拉不到位。”

车间里的气氛沉下去了。

光刻过了,刻蚀过了,偏偏倒在了最基础的掺杂上。

林希站在注入机旁边,手扶着冰凉的金属外壳。

他闭上眼睛。

脑海中,直

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