团队半年的活!】
【张工那双膝盖上的白印到底磨掉了几层皮啊】
【不说了,眼睛进沙子了】
......
从中关村的地下室,到津门二厂的轰鸣。
短短几天,犹如跨越了一个时代。
七月一号。
津门无线电二厂。
硅基产线全速开动。
这是GK-3光刻机浴火重生后的第一次实弹操演。
陈默亲自操机,手指搭在对焦旋钮上,眼睛贴着目镜。
光栅尺的数字跳动,伺服电机精准补偿每一个微米的误差。
曝光。
显影。
硅片上的线条清晰锐利,边缘笔直。
刻蚀环节,BOE槽液控温稳定在三十五度。
第一批硅片过检,沟槽完美。
陈默回头冲林希竖了个大拇指。
直到离子注入。
长安771所支援的国产离子注入机是十年前的老型号。
苏佩兰和王铁山两个老师傅在机器旁边守了一天一夜,反复调整参数。
打出来的硅片,送到显微镜下一看。
掺杂深度分布不均匀。
有的区域深了,有的区域浅了。
像一块没发好的面,有些地方鼓着,有些地方瘪着。
直接后果:芯片漏电。
测试探针扎下去,电流一路跑偏,根本锁不住。
苏佩兰试了七组参数,全部失败。
“机器太老了。”
她摘下防尘面罩,额头上全是汗。
“束流不稳,真空也拉不到位。”
车间里的气氛沉下去了。
光刻过了,刻蚀过了,偏偏倒在了最基础的掺杂上。
林希站在注入机旁边,手扶着冰凉的金属外壳。
他闭上眼睛。
脑海中,直
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