现场安静得只剩下机器运转的轻微声响。
三人目光如电,快速扫过全场。
地面一尘不染,物料摆放整齐,标识清晰规范,温湿度显示屏数值稳定,压差、静电、颗粒度全部在标准范围以内。
没有混乱,没有闲聊,没有违规,没有瑕疵。
金俊勇眉头微不可查地动了一下。
他原本以为,在长时间高强度运转下,现场多少会出现松懈、疲惫、不规范,可眼前的一切,比国际一流制造厂的标准还要严苛、还要整齐、还要专业。
但他没有丝毫放松,反而更加警惕。
突击检查,看的不是表面,是细节、漏洞、隐患、真实状态。
他脚步不停,直接走到蚀刻工序的核心工位前,停下脚步。
这个工位,负责晶圆深度蚀刻与精度控制,直接决定芯片的耐压性、一致性、稳定性,是海外客户最看重、最容易提出质疑的关键环节。
此刻,操作工正全神贯注地进行操作,双手稳定、动作标准、节奏均匀,眼睛紧盯设备屏幕,没有因为身后站着三位监督者而出现一丝慌乱。
金俊勇没有说话,微微弯腰,目光如同探照灯,死死盯着操作工的每一个动作:取放晶圆的角度、手臂移动的轨迹、按键的顺序、确认的步骤、记录的方式……
一个动作、一个动作地核对。
一个细节、一个细节地审视。
查瓦迪则直接走到设备操作屏前,抬手对着操作工示意了一下,语气平淡却不容拒绝:“调出实时工艺参数,最近三十分钟运行曲线。”
操作工没有抬头,没有慌乱,严格按照SOP流程,点击屏幕,调出参数页面。
屏幕上,蚀刻温度、蚀刻时间、气体流量、压力值、功率值……所有参数一目了然,曲线平稳如一条直线,波动范围微乎其微,远低于合同约定的允许范围。
查瓦迪指尖在平板上快速敲击,对照着韩方、欧洲、东南亚三方
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