陈启直接来到光子芯片中试线,电梯门一开,走廊尽头的无尘室观察窗透出一片白光。
沈明轩站在监控台前,白色实验服袖口卷到手腕,面前一排屏幕正滚着实时参数。
沈明轩听见脚步声,回头只点了一下头,没寒暄,直接把手里的平板转向陈启。
屏幕上是一组曲线,三条线从上到下排列,像三道被压下去的山脊。
陈启走到监控台边,看玻璃窗后面的无尘室,里面三台核心设备正在运转,硅基晶圆被机械臂送入自动轨道。
穿无尘服的工程师站在操作台前,黄白交错的灯光落在设备外壳上,连人的动作都显得慢了半拍。
沈明轩把第一张参数图放大,“第一片硅基光子集成工程样片,流片参数已经跑完三轮,第一轮光损耗3.2dB/Cm,第二轮1.8dB/Cm,第三轮1.1dB/Cm”。
屏幕上的三条曲线逐次下移。
陈启的视线停在1.1这个数字上,“解释一下”。
沈明轩把平板搁到台面上,指尖点在曲线旁边的波导长度标注,“光损耗率是光子芯片的核心指标,信号在波导里传输会衰减,衰减越少,芯片能集成的计算单元就越多,国际领先水平是0.5dB/Cm,我们从3.2降到1.1,三轮优化已经走了别人两年的路”。
旁边一名年轻工程师听到这句,手里的记录笔停了一下,又很快继续写。
陈启没有夸,只把平板拿近看了一遍,“1.1之后,最难的是哪里”。
沈明轩把另一组图切出来,上面是工艺节点分布,“波导侧壁粗糙度,光刻对准精度,耦合端面的损耗,这三处都还要调整参数,1.1不是终点”。
玻璃窗另一侧,一个工程师俯身调整测试探针,机械臂停在晶圆边缘,屏幕上的光功率曲线轻轻抖了一下,又很快回到原来的区间。
陈启看着那条曲线,“样品什么时候能点亮”。
沈明轩
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