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第229章 爱国(第3节)

日本的特殊复合材料……

谁掌握了供应链的源头,谁就有资格高高在上。

不认命,又有什么办法?

“李总,您也别太灰心。”

陈老看着李锋阴沉的脸色,赶紧宽慰道,“这六亿美金,咱们花得其实也不算太冤枉。”

“哦?陈老有什么高见?”李锋转过头。

陈老推了推眼镜:“这十台28nm的光刻机虽然不是最先进的,但在咱们国家目前的半导体土壤里,依旧是无价之宝!”

“有了这十台实物,咱们金大的团队加上您从硅谷挖来的那些专家,就可以展开深度的逆向工程研究!”

“首先,是反射镜和光学透镜的工艺,咱们能从这台机器上摸到EUV光刻技术的一些门道。”

“更重要的是!”

陈老语气有些激动:“咱们完全可以通过软件和工艺上的弥补,来实现制程的跨越!”

“有一门技术,叫SAQP自对准四重图案化多重曝光技术!”

“简单来说,就是用这台28nm的光刻机,对同一块晶圆进行多次重复曝光和刻蚀!只要咱们的对齐精度够高,良品率控制得住……”

“咱们完全可以用这台28nm的机器,搓出14nm、甚至7nm等效性能的芯片!”

听到陈老的这番解释,李锋的眼睛亮了!

他前世听说过,国内在没有买到最先进光刻机的时候,就是靠着这种“多重曝光”的笨办法把制程工艺给提上去了!

“好!有陈老这句话,这四十多亿花得就值!”李锋心头的阴霾扫去大半。

然而。

还没等李锋高兴太久,陈老的神色却陡然变得凝重,他挥了挥手,让周围的随行人员退远了一些。

“李总……虽然咱们能通过技术手段弥补制程差距。但是,我必须向您汇报一些隐患!”

陈老看着那几台已经被运进车间的ASML光刻机,眼神里

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