齐国即不合纵抗秦。也不加强战备，齐王建甚至在公元前237年（秦王政十年）亲自到秦国朝拜，嬴政在咸阳设酒宴款待。
秦国灭五国后，齐王建才顿感到秦国的威胁，慌忙将军队集结到西部边境，并断绝和秦国的来往，但為时已晚。
公元前221年（秦王政二十六年），嬴政以齐国拒绝秦使者访齐為由，命王賁在灭燕之后率军南下攻齐，而蒙恬由於出身将门，刚担任秦国的将军，亦有参与灭齐战事，作战胜利后被授予内史。
秦军避开了齐军西部主力，由燕国南部南下，一路势如破竹，几乎没有抵抗，大军直抵齐都临淄（今山东淄博北），齐军措手不及。齐王建听从后胜的建议，不战而降，后被迁到共城。
秦军攻入临淄后，百姓居然没人敢反抗。不过事后齐国百姓反而埋怨齐王建不早与诸侯合纵攻秦，仅对秦国言听计从，以致亡国，讽刺道：松耶柏耶？住建共者客耶？
齐国的灭亡也标誌著战国时代的落幕，结束500多年来诸侯长期割据纷争的局面，最终建立了中国歷史上第一个中央集权君主统治国家——秦帝国。这一年秦王嬴政為三十九岁。
“公元前242年（秦王政五年），秦军併吞魏地二十城，在该地设置东郡，第二年（秦王政六年），韩、魏、赵、卫、楚五国组成联军进攻秦国，攻佔了寿陵邑。
秦国派出军队，五国停止了进军。秦国继而攻下卫国，卫君角惟有率领他的宗族迁居到野王，而魏国的河内郡因山势险阻而得以保全，但朝歌却被秦国攻佔，至於卫国原本的首都濮阳则合併至秦国的东郡。
秦灭六国后，卫国仍然被嬴政保留。直至秦二世元年，才下令将其解国，废卫君角為庶人，卫国从而成為最后一个被秦国所灭的关东国家。
因此有学者认為，这可能连繫著秦始皇皇后身分的歷史之谜，也就是说，嬴政的皇后（或王后）有可能出自姬姓卫国公族，而公子扶苏有可能為卫国来的皇后（或王后）姬氏所生（有另一说指扶苏生母為楚国公主），这也解释了秦二世胡亥即位后立
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