够了,不需要试多少次,就能将东西做出来。这
对这时代的其他科研人员是不公平的。但
这世界,从来没有公平!
落后就要挨打,这是永世不变的至理箴言!
白云天从来不需要顾虑他人的感受,他只是根据自己的目标,坚定地走在自己的路上。
透镜、工作台很容易就做了出来。
并且他还根据后世设计,对工作台做了巨大改动,将惯常的一个工作台,改为了双工作台。当
一个工作台正在进行光刻工序时,另一个工作台则提前进行晶圆片更换、定位、微调、测量等前序工作。当那一个工作台完成光刻,两个工作台换位,立即就能进行下一道光刻工序,极大地提升了光刻效率。
光源部分,是唯一没有自造的。毕
竟汞灯只是光刻机光源,波长统一为365纳米,其制造难度并不是特别大。国际市场上的供应商很多,全面禁止对华出口的难度较大,很容易买到。白
云天为了省事,也就没自造,而是通过国内,直接购买了一套。
但是他还是做了小幅改进。就
是用将目镜浸入纯净液体中的方式,对光束波长进行一定幅度的折射,从而达到聚焦效果。
在后世,这叫浸入式光源。
现在各大光科技厂商正在就此技术,进行实验室研究阶段,尚未投入实用。既
然白云天手里有完整的技术,浸入式光源又能小幅改进光源聚焦,那又为何不用?实
际使用效果很好。
采用了浸入式光源技术以后,364纳米的光束波长被约束到了312纳米!
比之英特尔使用的350纳米技术,提升了近40纳米!
在白云天的亲自指导监督下,有李莲、华新等人直接领导,光刻机的制造进度快得惊人,透镜、工作台子系统、光源等最大的技术难点,一一被轻松攻克。经
过两个月的技术攻关——其实就是逐步熟悉制造工艺,一台双工位,最大晶元刻蚀尺寸为200的光刻机就顺利建造完成,顺利得让所有参与制造的技术人员感觉如在做梦。
“这就做好了?”当
最后一块挡板合上,螺丝拧紧
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