nm制程要求的水准!
一次次的优化调校失败!
一批批昂贵的“昆仑胎玉”硅片变成废料堆里的焦黑残骸!
一瓶瓶珍稀的“蚀影”胶水被无效消耗!
时间像流水一样过去!
“烛龙”反应堆的工期倒计时如同催命符悬在头顶!
焦躁!绝望!无能为力的负面情绪如同一头巨大的阴影怪兽在实验室里弥漫。再这样下去,别说7nm,连稳定量产200nm都可能遥遥无期!时间要被拖死了!
又是一个深夜,会议室烟雾缭绕,人人眼窝深陷。
袁涛,这个头发已经因熬夜过度而变得稀疏的技术骨干,狠狠掐掉了虚拟烟头,眼睛通红地站起来。
“苏总!常规优化走不通了!时间根本不给机会!我们…必须走险棋!用多重曝光!用超常规的工艺路径去迭高精度!”
满室皆惊!
“多重曝光?!”
李老花白的眉毛瞬间拧成了疙瘩。
“理论上是可行!但那是要在完美设备上才能实施的极限微操!我们现在这台伏羲一号…自己走直线都打飘!用它迭曝?层数一多,任何一丁点套刻对准偏差,都会层层放大!误差累积下来,就是一场灾难!良率…会惨不忍睹!”
“我们没时间打磨设备了!”
袁涛的声音嘶哑,带着破釜沉舟的决绝。
“就用笨办法!堆层数!
一次对准误差可能超15nm,那我们就牺牲更大范围,用更繁琐的五层、甚至六层曝光!用设计冗余把线路加粗加宽!硬生生把平均套刻误差压下去!
靠工艺复杂性去逼近7nm的物理线宽!苏总,这是目前我们唯一可能够得着的路了!风险大我知道!失败几率超过九成我也知道!可总比现在原地等死强!”
所有目光都聚焦在沉默的苏定平身上。会议室的空气粘稠得如同铅汞。
苏定平看着投影屏上那张被
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