标记为五层光刻掩模版、线条堆迭得如同乱麻、结构臃肿得如同拼凑补丁般的7nm测试芯片结构图。
那张图,就像个绝望者病急乱投医、强行制造出来的怪物!丑陋!低效!违背常规设计的简洁和高效美学!
但他更知道袁涛没说错。没有时间了!
“干!”
苏定平猛地一掌拍在桌子上,合金桌面发出一声沉闷的呻吟,震得虚拟烟灰缸里的像素都跳了一下。
他的声音斩钉截铁。
“立刻组建迭影攻坚组!袁涛任现场技术总监!按照五层曝光方案实施!哪怕成功率只有万分之一!只要还有一丝可能造出符合7nm节点特征尺寸的晶体管!
这条路就给我走下去!失败?废品?烧钱?算我的!所有责任后果我一人承担!目标只有一个——打通这条带血的路径!给烛龙堆芯!送去能搏动的心!”
接下来的日子,龙芯实验室如同进入了某种惨烈的、自我消耗的绞肉机模式。
每一次五层曝光,都是对设备稳定性、工艺精密度、工程师神经极限的一次地狱级考验!
涂胶…对准…曝光!
再换掩模…再涂底层抗反射涂层…再对准…再曝光!
如此反复五次!
实验室里弥漫着一种近乎疯狂的气息。操作员的眼睛几乎长在对准仪的视窗上,每一次微调都屏住呼吸,手心全是冷汗。
空气中充满了各种光刻胶溶剂、显影液以及过度紧张散发出的汗味。机器报警声如同丧钟,几乎就没有间断过。
第一批五层套刻试产后,郭雪云拿着刚出炉的良率报告单,手指都在微微颤抖。
她走到彻夜未眠、眼窝深陷的苏定平面前,声音带着哭腔。
“苏…苏总…”
报告单上,那个用加粗红字标出的数字触目惊心。
【良率。14。7%】!
国际先进EUV光刻机制造7nm芯片的良率基
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