几块小小的试验镜片,对着光仔细查看那光滑如无物般的表面。
“你们抛光的面型精度……”
“实测RMS误差0.078nm,首批试验片全部在这个数值区间。”
苏定平沉声道。
郑玉倒吸一口冷气!
他又扑到一旁的检测仪器前,不顾身份地亲自操作,将一块试验片放入专用的光谱分析仪中。屏幕上立刻显示出清晰无比的多层膜干涉条纹!薄膜的均匀性、层间的界限清晰度,都让郑玉的眼睛越瞪越大。
“老郑?”
旁边几位副所长看他半天不说话,着急地催促。
郑玉猛地站起身,转过身,脸上因为激动涨得通红,他用力拍着自己的大腿。
“好!好!太好了!苏总工!了不起!太了不起了!”
他几乎是吼出来的。
“这技术!
这精度!别说合格!
这已经比我们掌握的最机密资料里显示的、那个ASM公司旗舰机上用的顶级反射镜性能还要强!还要稳定!强一截!”
他一把抓住苏定平的手,握得死紧。
“苏总工!
这份图纸和技术,我们927所,全力配合!我们有全国最好的光学冷加工基地,有最成熟的光学薄膜镀膜产线技术骨干!我敢立军令状!
就凭这张图,这份工艺,我们不但能给你稳定量产符合要求的EUV光刻机用反射镜,而且性能,绝对能压ASM一头!彻底打破他们在这块铁桶般的垄断墙!”
苏定平感受着手臂上传来的巨大力量,看着眼前这位激动得语无伦次的老专家眼中爆发出的炽热光芒,心中悬着的一块巨石终于落下一半。
“那就拜托郑所长了!时间紧!需要哪方面的协同实验,龙心团队全力配合!”
“没问题!”
郑玉拍着胸脯。
“你这份图纸和工艺一到,就是我们全所的冲锋号!
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