”
几个月后，第一批完全由龙夏部落自主设计、自主工艺、927研究所独家生产的EUV极紫外光刻机专用多层膜反射镜系统，在严格的外部第三方检测实验室里完成了最终的性能测试。
当报告送达龙心实验室高层和苏定平的案头时，所有人看到那醒目的结论——“核心面型精度RMS误差。
≤0.08nm；薄膜层厚均匀度误差。
≤0.09nm；综合光转化效率与稳定性全面超越对标样品”。
这一刻，没人欢呼雀跃，反而是一阵死一般的寂静。
袁涛看着报告上那令人眩晕的数据对比，嘴唇微微翕动了几下，最终只发出几个嘶哑的音节。
“成了……真他娘的……干成了！”
ASM那曾经被视为无法逾越的、用无数专利和百年技术积累堆砌而成的高耸城墙反射镜壁垒上，硬生生被砸出了一个巨大的缺口！
苏定平重重地靠倒在椅背上，仰头看着天花板刺眼的日光灯。
连日来的疲惫如同潮水般涌上，伴随着巨大的、难以言喻的成就感。光源、反射镜……EUV光刻机这座堡垒最坚硬的几个内核，正在一个接一个地被龙夏部落的工匠撬开！
“终于……迈出了实质性的一大步。”
他闭上眼，轻声说道。
然而，短暂的喘息只在一瞬。下一个巨大阴影已经扑面而来。
宽敞但气氛压抑的EUV组装预研车间里，硕大的真空系统框架已经初具轮廓。
苏定平、袁涛等人站在巨大的设计面板前，目光聚焦在面板中央那两个至关重要的核心组件图标上——供件台和掩模台。
“定平。”
袁涛的声音透着前所未有的凝重。
“这两个台子，说白了，就是把那指甲盖大小的硅芯片和大尺寸掩模版，以纳米级的精度，在三维空间里精确对位和快速移动的两只手。”
他抬起手，指尖
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