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第1163章 镀膜卡关!自研破垄断(第4节)

指着面板上的技术指标,那数字触目惊心。

“移动速度要达到每秒数米以上!”

“移动精度要控制在小于3纳米以内!”

“这相当于在一万米外投篮球,误差不能超过一根头发的直径!”

“更要命的是。”

袁涛加重了语气,指着旁边巨大的真空腔体框架。

“这一切,都要在比地球表面最干净的地方还要干净千万倍的超真空环境里完成!普通的机械轴承在那种环境下,连动都动不了几下,更别说纳米级的精度了!摩擦、润滑、防震、热量控制……全是死结!”

陈工在一旁补充,脸色也很难看。

“还有位置反馈系统,分辨率要达到亚纳米级别!现有的激光干涉仪技术,在常温大气中都很难稳定达到这个量级,更别说在真空里还要抵抗各种难以预计的微扰动……”

“也就是说,支撑这两个台子运动的核心——精密轴承系统,要求能在超高真空、零润滑、极高速度、极强动力学负载、极低热变形……这一大堆地狱级条件下,还能稳定地实现纳米级的定位精度和重复定位精度……”

另一位负责机械系统的工程师几乎是呻吟出来。

“这……简直是机械工程的珠穆朗玛峰!比反射镜只难不易!”

办公室里一片死寂。

这确实是当前摆在面前的最硬的骨头之一!比多层膜反射镜更需要整个国家精密制造工业体系的支撑!

“我看了资料。”

袁涛再次打破沉默,语气冰冷得如同北极寒风。

“能满足这些要求的……无论是超精密磁悬浮轴承系统、气浮导轨轴承还是基于压电陶瓷的纳米定位平台的核心技术和关键部件……几乎全被东荒部落的东瀛精机和维京部落的几家公司垄断!而且……”

他顿了顿,一字一句道。

“根据最新情报和我们采购部门的确认反馈,这类涉及最尖端光刻技术的核心运

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