光刻胶,特殊气体等原料也不便宜。
再过来则是电费成本,半导体工厂的耗电量很大的,各种设备都是电老虎,因此电费成本也不算低,智云微电子集团光是每年交电费都是个非常庞大的数字。
最后才是人工成本,这个比例很低……半导体的先进工艺里谈论人力成本其实没有什么实际意义的,因为占比太低了。
因为半导体工厂耗电量比较高,而耗电大头就是EUV光刻机,因此能够降低EUV的耗电量也是比较重要的……这一点上海湾科技的EUV光刻机拥有比较大的能耗优势。
只是这点优势放在整个先进工艺的生产成本里,其实也不算什么太大的优势就是了……因为电费成本并不是先进工艺的主要成本,占比也很低的。
海湾科技的EUV光刻机和ASML的EUV光刻机,看似性能差不多,原理也一样,但是具体技术路线其实有着比较大的差异。
而且荷兰ASML的同级别光刻机是属于欧洲日韩等西方工业体系的综合产物,ASML负责整体设计以及组装,各大子系统分别有来自美国的光源系统以及对准以及控制系统,来自德国的物镜系统,然后还有ASML自己研发的工作台以及定位系统,日本提供的掩模台系统……还有其他诸多零部件也来自多个国家。
中间缺了任何一个国家的子系统,荷兰的ASML都无法组装出来EUV光刻机。
而海湾科技的HEUV-300系列光刻机,则是纯国产供应链……并且还是由仙女山控股自己研究各大子系统并组装完成的。
海湾科技负责设计以及组装。
南方光学负责物镜系统。
南江高科负责光源系统。
龙江科技负责搞工作台以及定位系统。
然后仙女山控股的旗下的其他多家子公司也负责EUV光刻机项目的其他子系统。
但是仙女山控股旗下的这些子公司的背后,还有国内数千家各类企业以及科研
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