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第二百四十三章 攻克难题(第5节)

报:

“林总,环境波动已压至±0.28℃,满足极限要求,无继续压缩空间。”

林野只回两个字:“稳住。”

第二小组孙工联合刀哥设备团队,对光刻机、蚀刻机气路全面拆解、清洗、校准。流量计、压力传感器全部重新标定,腔体温度均匀性逐点测试。

两小时四十分钟后汇报:

“林总,气路波动从0.3压到0.04,设备重复性偏差达标,但晶圆来料厚度差仍在影响一致性。”

林野点头:“继续监控,交给第三小组解决。”

第三小组周工带领工艺团队,最先遇到真正的硬骨头。

他们把工艺时序压到毫秒级,但测试数据显示:

一致性误差仍在±2.1%~±2.3%之间。

周工在作战室额头冒汗,对着数据反复复盘:

“林总,设备、环境、气路都到顶了,误差主要来自晶圆本身厚度差,每一片都有微小差别,导致蚀刻后参数不一致。”

林野平静开口:“方向给你们:动态补偿。

检测在前,工艺在后,测到厚度偏高,自动多蚀刻15毫秒;偏低,少蚀刻15毫秒。

能不能实现,你们去验证。验证结果,直接报我。”

周工眼睛一亮:“明白!我们立刻做模型!”

第四小组吴工的测试台24小时不停机,每一颗芯片的数据实时上传大屏,波动曲线、分布直方图、CPK能力指数实时更新。

每到整点,吴工就抱着平板冲进作战室,向林野汇报最新数据:

“16:00 一致性:±2.3%”

“17:00 一致性:±2.2%”

“18:00 一致性:±2.1%”

“19:00 一致性:±2.0%”

数据在一点点往下压,但距离±1.5%的目标,依旧差一小截。

作战室内,

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